干式真空泵为什么要用氮气

气密,稀释制程气体,减轻腐蚀及制程附着.

干式真空泵便以其自身原理、结构、抽气效率等各方面的突出优势在诸多领域中均得到了广泛认可,其中多级罗茨干式真空泵便是这些领域中十分常用高效的真空获得设备之一.对于干式真空泵可以从狭义与广义两个方面来进行定义。