解:∵f(x)是偶函数,
∴f(-x)=f(x),
即sin(-ωx+φ)=sin(ωx+φ),
∴2cosφsinωx=0,对任意x都成立,且0<ω<1,
∴cosφ=0,又0≤?≤π,
∴φ=

,
∴f(x)=sin(ωx+

)=cosωx;
由f(x)的图象关于点M(

,0)对称,
∴f(

-x)=-f(x),即cosω(

-x)=-cosωx
取x=0,cos

=-1.
∴

=2kπ+π,
∴ω=

(2k+1),k=0,1,2…
又0<ω<1,
∴当k=0时,ω=

.
∴f(x)=cos

x.解析分析:由f(x)是偶函数可得?的值,图象关于点M

对称可得函数关系f(

-x)=-f(

+x),可得ω的可能取值,确定ω的值.点评:本题主要考查三角函数的图象、单调性、奇偶性等基本知识,以及分析问题和推理计算能力,属于难题.